应用于阻挡层放电等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除**污染物、油污或油脂
等离子清洗特点
·可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。
·不会对操作人员的身体造成任何伤害。
·其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。
控制方式:
电源面板按键控制
模拟信号控制:TTL电平,可以控制工作停止,输出电压或输出电流或输出功率,外部开路保护(一般用于水流保护)
数字接口控制:485通讯。也可以定制232接口
虽然介质阻挡放电已被开发和广泛的应用,可对它的理论研究还只是近20年来的事,而且**于对微放电或对整个放电过程某个局部进行较为详尽的讨论,并没有一种能够适用于各种情况DBD的理论。其原因在于各种DBD的工作条件大不相同,且放电过程中既有物理过程,又有化学过程,相互影响,从较终结果很难断定中间发生的具体过程。
只要电极间的气隙均匀,则放电是均匀、漫散和稳定的。这些微放电是由大量快脉冲电流细丝组成,而每个电流细丝在放电空间和时间上都是无规则分布的,放电通道基本为圆柱状,其半径约为0.1~0.3mm,放电持续时间较短,约为10~100ns,但电流密度却可高达0.1~1kA/cm2,每个电流细丝就是一个微放电,在介质表面上扩散成表面放电,并呈现为明亮的斑点。这些宏观特征会随着电极间所加的功率、频率和介质的不同而有所改变。